1.특징
1) 최고속도와 정도를 모두 갖춘 3차원 측정기.
2) 브릿지고정 이동테이블 구조
3) X축구동과 Y축 구동분리
4) 정도보정온도를 기존의 약10배로확대
5) 진동억제기술( 내부진동 대책 )
2. 모델 및 사양
모델명
LEGEX322
LEGEX574
LEGEX774
LEGEX776
LEGEX9106
LEGEX12128
측정범위
X축
300mm
510mm
710mm
910mm
1210mm
Y축
200mm
1010mm
Z축
460mm
610mm
810mm
최대구동속도
200mm/s
분해능
0.0001mm
측정방식
초정밀리니어 엔코더
지시정도 MPEe(㎛)
0.8+2L/1000
0.35+L/1000
0.6+1.5L/1000
최대가속도
850m㎨
1000m㎨
